CN107994460A 一种微型白光激光器及其制作方法 （华侨大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN107994460A

(43)申请公布日2018.05.04

(21)申请号201711160541.0

(22)申请日2017.11.20

(71)申请人华侨大学

地址362000福建省泉州市丰泽区城东城

华北路269号

(72)发明人张奚宁梁定鑫戴昊

(74)专利代理机构厦门市首创君合专利事务所有限公司35204

代理人张松亭林燕玲

(51)Int.CI.

H01S5/40(2006.01)

权利要求书1页说明书3页附图2页

(54)发明名称

一种微型白光激光器及其制作方法

(57)摘要

CN107994460A一种微型白光激光器及其制作方法，包括微流控芯片和封装于内的若干激光二极管和若干微米光波导；该若干微米光波导输入端一一对应地位于若干激光二极管有源区出光面，其中一微米光波导与其它微米光波导的输出端耦合并构成白光输出端。本发明具有结构简单、集成度高

CN107994460A

CN107994460A权利要求书1/1页

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1.一种微型白光激光器，其特征在于：包括微流控芯片和封装于内的三个激光二极管和三个微米光波导；该三个微米光波导输入端一一对应地位于三个激光二极管有源区出光面，其中一微米光波导与其它微米光波导的输出端耦合并构成白光输出端。

2.如权利要求1所述的一种微型白光激光器，其特征在于：所述微米光波导直径为10-50μm。

3.如权利要求1所述的一种微型白光激光器，其特征在于：所述其中一微米光波导与其它微米光波导耦合处的耦合长度为1-5μm。

4.如权利要求1所述的一种微型白光激光器，其特征在于：所述若干激光二极管的固定输出功率相同。

5.如权利要求1所述的一种微型白光激光器，其特征在于：所述微米光波导为微光纤或聚合物微米线。

6.如权利要求1所述的一种微型白光激光器，其特征在于：所述其中一微米光波导与其它微米光波导耦合处的耦合角度为10°-20°。

7.如权利要求1所述的一种微型白光激光器，其特征在于：所述微流控芯片包括基片和盖片，该激光二极管和微米光波导固装于基片上，该盖片覆设于基片上。

8.一种微型白光激光器的制作方法，其特征在于：在光学显微镜下，通过微纳操作将若干微米光波导输入端一一对应地放置于若干激光二极管有源区出光面以输入若干单色激光；再将其中一微米光波导与其它微米光波导的输出端分别耦合并调节耦合长度，使得该微米光波导输出白光；最后，采用微流控芯片进行封装。

CN107994460A说明书1/3页

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一种微型白光激光器及其制作方法

技术领域

[0001]本发明涉及激光器领域，特别是一种微型白光激光器及其制作方法。

背景技术

[0002]目前，因具有能量高、单色性好、相干性好等优点，激光器自发明以来在通信、精密仪器制造、高精度测量、显示照明、医学诊断等诸多方面发挥着重要的作用。而白光激光光源在亮度、相干性等方面比普通白光光源更好，因此，白光激光器在彩色显示、医学诊断、机器视觉等方面拥有巨大的应用前景。

[0003]现有的白光激光器通常需采用红、绿、蓝三台独立的激光器组成，并需要外部光路的调节整合到同一输出，整体体积较为庞大；同时，为形成白色色谱，需要分别调节三台激光器的输出功率，在调整方案上也较为复杂。而随着科技的发展及各种器件的高度集成，在机器视觉以及生物医疗，如内窥镜等方面，需要将白光光源集成在微小尺度上，因而也对这种三色光合成的白光激光器的集成度及功率调节方案提出了更高的要求。综上，如何得到高集成度的白光激光器，满足机器视觉、医学诊断等方面的应用，成为白光激光光源微型化研究过程中一个亟待解决的问题。

发明内容

[0004]本发明的主要目的在于克服现有技术中的上述缺陷，提出一种集成度高、易于调节的微型白光激光器及其制作方法。

[0005]本发明采用如下技术方案：

[0006]一种微型白光激光器，其特征在于：包括微流控芯片和封装于内的三个激光二极管和三个微米光波导；该三个微米光波导输入端一一对应地位于三个激光二极管有源区出光面，其中一微米光波导与其它微米光波导的输出端耦合并构成白光输出端。

[0007]优选