CN108321242B 基于石墨烯和耦合光栅的光探测器及其制作方法 （南京邮电大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN108321242B公告日2019.08.23

(21)申请号201810015572.5

(22)申请日2018.01.08

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN108321242A

(43)申请公布日2018.07.24

(73)专利权人南京邮电大学

地址210023江苏省南京市亚东新城区文

苑路9号

(72)发明人刘启发王慧慧

(74)专利代理机构江苏爱信律师事务所32241代理人唐小红

(51)Int.CI.

HO1L31/09(2006.01)

HO1L31/18(2006.01)

G02B6/12(2006.01)

G02B6/124(2006.01)

G02B6/13(2006.01)

G02B6/136(2006.01)

(56)对比文件

CN103943715A,2014.07.23,

CN104795410A,2015.07.22,

CN105140314A,2015.12.09,

WO20140894