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真空管道系统抽真空专项施工方案

一、工程概况

1.1项目背景

本工程为XX工业园区真空管道系统抽真空作业，涉及管道总长约850米，

管径范围DN200-DN600，材质为316L不锈钢，设计真空度≤5Pa（绝对压力）。

管道系统包含直管段620米、弯头45个、阀门28台（含真空隔离阀12台）及

法兰连接点156处，主要用于半导体晶圆加工车间的惰性气体输送。

1.2主要技术参数

项目参数要求

设计真空度≤5Pa（绝对压力）

泄漏率≤1×10Pa·m³/s（氦质谱检测）

抽真空时间系统总抽气时间≤72小时

工作介质温度范围-20℃~80℃

设计压力0.6MPa（气密性试验压

管道耐压等级

力）

1.3工程难点

•长距离管道存在多处变径及法兰连接，密封面处理要求极高；

•系统需耐受周期性温度变化（日常运行温差约60℃），需验证热循

环下的真空稳定性；

•局部管道位于洁净室内（Class100级），施工需符合无尘操作规范。

二、施工准备

2.1技术准备

1.图纸会审：核对管道布置图（PID图号：VAC-001~012）、真空

系统流程图及设备安装定位尺寸，重点确认真空泵组接口位置、阀门型号

（如GV-101型真空蝶阀）及波纹管补偿器安装方向。

2.方案编制：编制《真空管道清洁规程》《法兰密封面处理工艺卡》及

《真空度测试方案》，并通过业主及监理单位审批。

3.技术交底：组织施工人员进行专项培训，内容包括：

o真空系统密封原理及氦质谱检漏操作；

o洁净室施工防静电措施（如穿戴防静电服、使用离子风机）；

o真空泵组（型号：PFEIFFERHiPace800）操作规程。

2.2材料与设备准备

2.2.1主要材料清单

材料名称规格型号数量备注

耐温-

Loctite5450

真空密封胶50支50℃~200℃，金属

（食品级）

法兰专用

硬度75Shore

氟橡胶包覆金属

密封垫片DN200：32个A，压缩率

C型圈

15%~25%

PFEIFFERPFPE

真空泵油