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洁净厂房施工方案

一、工程概况

本方案针对某半导体企业新建的万级洁净生产车间项目编制，

项目位于长三角某产业园区，总洁净面积约1800㎡，主体为钢筋

混凝土框架结构，建筑层高4.5m。核心功能区包括光刻制程区

（ISO____Class6，即万级）、封装测试区（ISOClass7，十万

级）、人员净化通道及物料传递间。项目以“高精度、低污染”为核

心目标，需满足电子元件生产对空气洁净度、温湿度稳定性、静压

差的严格要求——其中光刻区悬浮粒子（≥0.5μm）浓度需

≤____pc/m³，温度控制在22±2℃，相对湿度50±10%，与相邻区域

静压差≥5Pa。

二、施工准备

洁净室施工的核心是“提前规避污染风险”，准备阶段需围绕

“技术、人员、材料、现场”四大维度做足功课。

（一）技术准备

1.图纸深化与会审：联合设计、监理单位重点核对三大节点—

—

洁净空调风管走向：需避开光刻区上方的FFU（风机过滤单

元）布局，避免风管震动影响设备精度；

彩钢板隔墙排版：将墙角、门窗等异形部位的板材尺寸提前

标注，减少现场切割产生的毛边；

高效过滤器安装位置：需与FFU出风口一一对应，偏差

≤5mm（避免漏风）。

2.技术交底：针对“洁净施工特殊性”做专项交底——比如“所

有进入洁净区的工具需用酒精擦拭三遍”“风管咬口缝必须敲平，否

则后期漏风无法整改”，交底内容需班组签字确认。

（二）人员准备

施工队伍选择：优先选用有3年以上洁净室施工经验的班组，

其中风管焊工需持压力容器焊接证（洁净风管属于压力管道），

彩钢板安装工需通过“洁净室密封工艺”培训；

进场培训：组织工人学习《洁净室施工规范》，重点强调

“手不能接触高效过滤器滤纸”“打胶时需连续无断点”等细节，考

核合格后方可上岗。

（三）材料与设备准备

1.材料验收：

镀锌钢板：需检查镀锌层厚度（≥0.02mm），无氧化斑点

（氧化层会脱落污染空气）；

密封胶：选用硅酮耐候胶（无挥发性有机物VOC），需提

供“环保检测报告”；

FFU与高效过滤器：需核对出厂检测报告——FFU风速均匀

性≤10%，高效过滤器效率≥99.97%（针对0.3μm粒子）。

2.材料存放：

彩钢板：立放于封闭仓库，用塑料膜全覆盖（避免灰尘附

着）；

高效过滤器：存放在干燥通风处（湿度≤60%），底部垫木

方（防止受潮）。

（四）现场准备

场地清理：彻底清除结构地面的砂浆残渣、泥土，用激光水

平仪检测地面平整度（偏差≤5mm，否则用水泥砂浆找平）；

临时设施：设置“洁净材料加工区”（用彩钢板围合，地面铺

塑料膜）、“工具清洗区”（配备高压水枪+酒精桶，用于清洗施

工工具）；

临水临电：管道采用DN50镀锌管，电缆选3×50+1×25铜芯

线（满足环氧自流平搅拌机的用电需求）。

三、主要施工工艺及技术措施

洁净室施工需遵循“先系统后围护、先隐蔽后外露”的顺序，核

心逻辑是“避免后续工序破坏前置洁净面”。

（一）结构基层处理

基层是洁净室的“地基”，需确保无孔隙、无浮灰、含水率达标：

墙面处理：用钢丝刷清除浮浆，再用环氧腻子刮平（横向→

纵向各一遍，平整度≤2mm）；

地面处理：

1.用打磨机磨去表面浮浆（打磨深度≤1mm），吸尘器吸走灰

尘；

2.用清水冲洗地面，待干燥后检测含水率（≤8%，用含水率测

试仪每100㎡测3点）；

3.若含水率超标，用工业烘干机连续烘烤24小时（或延长养

护7天）。

（二）洁净空调系统安装

洁净空调是“洁净室的心脏”，密封性能直接决定洁净度。

1.风管制作：

咬口形式：优先用“联合角咬口”（密封性能优于单咬口），

咬口深度12mm，咬口缝用锤子敲平（无裂缝）；

法兰加工：用L30×3镀锌角钢，法兰孔距≤150mm（确保螺

栓受力均匀），孔眼需用钻头扩孔（避免螺栓拧