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多晶硅磁控溅射靶材项目安全评估报告.docx

多晶硅磁控溅射靶材项目安全评估报告.docx

    多晶硅磁控溅射靶材项目安全评估报告

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    多晶硅磁控溅射靶材项目安全评估报告

    目录

    TOC\o1-9概论 3

    一、对策措施与建议 3

    (一)、事故隐患的整改措施 3

    (二)、建议的安全对策措施 4

    二、安全评价范围、目的及依据 5

    (一)、评价范围 5

    (二)、评价目的 6

    (三)、评价依据 7

    三、定性、定量安全评价 8

    (一)、安全管理单元 8

    (二)、厂址条件、平面布置及建、构筑物单元 10

    (三)、生产单元 11

    (四)、公用工程及辅助设施单元 14

    四、评价多晶硅磁控溅射靶材项目概述 18

    (一)、被评价单位的基本情况

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