CN106784005A 一种改良的鳍式场效应晶体管及其制作方法 （东莞市联洲知识产权运营管理有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN106784005A

(43)申请公布日2017.05.31

(21)申请号201611160118.6

(22)申请日2016.12.15

(71)申请人东莞市联洲知识产权运营管理有限公司

地址523000广东省东莞市松山湖高新技

术产业工发区生产力大厦406

(72)发明人李风浪

(74)专利代理机构北京众合诚成知识产权代理有限公司11246

代理人连平

(51)Int.CI.

HO1L29/78(2006.01)

H01L29/04(2006.01)

HO1L21/336(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图3页

(54)发明名称

一种改良的鳍式场效应晶体管及其制作方法

300(57)摘要

300

CN106784005A210-400500-220500400300本发明公开了一种改良的鳍式场效应晶体管及其制作方法，本发明的改良的鳍式场效应晶体管包括：基底；鳍部，所述鳍部第一源区和第一漏区以及沟道区；所述鳍部的第一源区和第一漏区厚度小于沟道区厚度，所述鳍部的第一源区和第一