电子级三氟化氮气体生产及半导体刻蚀工艺配套项目可行性研究报告.docx

电子级三氟化氮气体生产及半导体刻蚀工艺配套项目可行性研究报告

第一章总论

项目概要

项目名称

电子级三氟化氮气体生产及半导体刻蚀工艺配套项目

建设单位

江苏芯能新材料有限公司于2024年3月18日在江苏省苏州市昆山市市场监督管理局注册成立，为有限责任公司，注册资本金伍仟万元人民币。公司主要经营范围涵盖电子专用材料制造、电子专用材料销售、化工产品生产（不含许可类化工产品）、化工产品销售（不含许可类化工产品）、新材料技术研发等，依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动。

建设性质

新建

建设地点

本项目选址于江苏省苏州市昆山经济技术开发区光电产业园。该园区地处长三角核心区域，紧邻上