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钛酸锶极性表面及外延薄膜：制备工艺与物性的深度探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代材料科学的快速发展进程中，钛酸锶（SrTiO?）作为一种极具潜力的多功能材料，凭借其独特的物理性质和广泛的应用前景，吸引了众多科研工作者的目光。钛酸锶属于钙钛矿结构的氧化物，具有立方晶系结构，空间群为Pm-3m。其结构中，Sr2?离子位于立方体的顶点，Ti??离子位于体心位置，O2?离子则处于面心位置，这种有序的结构赋予了钛酸锶许多优异的性能。

从电子领域来看，钛酸锶拥有较高的介电常数，在电子陶瓷领域被广泛应用于制造陶瓷电容器，能够有效提升电容器的储能密度和稳定性，满足电子设备小型化、高性能化的发