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电子洁净检测工程师考试试卷及答案

电子洁净检测工程师考试试卷及答案

一、填空题（每题1分，共10分）

1.我国电子洁净厂房常用洁净度标准是GB______。（50073-2013）

2.洁净室悬浮粒子检测重点关注______μm及以下粒径。（0.1）

3.风速检测常用仪器是______。（热球式风速仪）

4.相邻洁净区压差应不小于______Pa。（5）

5.微生物检测常用______法。（沉降菌）

6.HEPA过滤器检漏方法是______法。（扫描）

7.ISO5级洁净室每立方米≥0.5μm粒子数不超过______个。（3520）

8.温湿度检测周期一般为______一次。（每日）

9.噪声检测仪器是______。（声级计）

10.静电检测常用参数是______电压。（表面）

二、单项选择题（每题2分，共20分）

1.电子洁净检测重点粒径是？（A）

A.0.1μmB.1μmC.10μmD.100μm

2.压差检测目的是？（A）

A.防交叉污染B.测温湿度C.测风速D.测粒子数

3.HEPA检漏合格穿透率≤？（A）

A.0.01%B.0.1%C.1%D.10%

4.沉降菌培养温度是______℃。（C）

A.25±2B.30±2C.36±1D.42±1

5.悬浮粒子检测仪器是？（A）

A.粒子计数器B.风速仪C.声级计D.温湿度计

6.ISO洁净度等级表示为？（B）

A.数字+μm