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电镜检测工程师考试试卷及答案

一、填空题（共10题，每题1分，共10分）

1.透射电镜（TEM）的分辨率单位通常用______表示。

2.TEM的核心组成部分包括电子枪、电磁透镜、______和探测器。

3.电镜真空系统的作用是减少电子与______的碰撞，避免样品污染。

4.扫描电镜（SEM）中，二次电子信号主要用于观察样品的______形貌。

5.EDS能谱仪可检测的元素范围通常从______（原子序数）开始。

6.EBSD（电子背散射衍射）主要用于分析样品的______结构。

7.冷冻电镜（Cryo-EM）常用于观察______状态的生物样品。

8.TEM中，加速电压越高，电子束的______越短，分辨率越高。

9.SEM非导电样品需进行______处理以避免荷电效应。

10.TEM明场像主要反映样品的______差异。

二、单项选择题（共10题，每题2分，共20分）

1.可实现原子级分辨率的电镜是：

A.SEMB.TEMC.ESEMD.光学显微镜

2.电镜真空系统最低要求不低于：

A.10?1PaB.10?3PaC.10??PaD.10??Pa

3.TEM样品厚度通常控制在：

A.1-100nmB.1-10μmC.10-100μmD.1-10mm

4.EDS检测不到的元素是：

A.CB.OC.HD.N

5.EBSD分析需将样品倾斜至：

A.30°-40°B.50°-60°C.70°-80°D.90°

6.冷冻电镜样品制备关键步骤是：

A.真空干燥B.快速冷冻C.喷金D.离子刻蚀

7.TEM中物镜的主要作用是：

A.放大样品像B.加速电子C.偏转电子束D.检测信号

8.SEM背散射电子产额与原子序数的关系是：

A.正相关B.负相关C.无关D.仅与厚度有关

9.STEM成像原理基于：

A.透射电子扫描B.反射电子扫描C.二次电子扫描D.背散射电子扫描

10.适合ESEM观察的样品是：

A.干燥金属B.潮湿生物C.高温熔化样品D.高压气体

三、多项选择题（共10题，每题2分，共20分）

1.电镜主要类型包括：

A.TEMB.SEMC.AFMD.STME.Cryo-EM

2.TEM主要组成部分有：

A.电子枪B.电磁透镜C.样品室D.真空系统E.探测器

3.SEM样品制备基本要求：

A.导电B.干燥C.无油污D.厚度均匀E.无磁性

4.EDS主要应用：

A.元素定性B.元素定量C.面分布分析D.晶体结构E.相组成

5.EBSD应用场景：

A.晶粒取向B.相鉴定C.应变分析D.表面形貌E.元素含量

6.冷冻电镜优势：

A.天然状态B.无固定染色C.高分辨率D.生物大分子E.动态观察

7.电镜真空系统组成：

A.机械泵B.分子泵C.离子泵D.扩散泵E.真空计

8.SEM常用探测器：

A.二次电子B.背散射电子C.EDSD.EBSDE.荧光

9.TEM成像模式：

A.明场像B.暗场像C.HAADFD.二次电子像E.背散射电子像

10.电镜操作安全注意事项：

A.避免高压部件B.样品无磁性C.真空运行勿开门D.防护眼镜E.远离电子束

四、判断题（共10题，每题2分，共20分）

1.TEM分辨率一定比SEM高。（）

2.加速电压越高，TEM分辨率一定越高。（）

3.EDS可检测所有元素（H到U）。（）

4.EBSD分析无需样品倾斜。（）

5.冷冻电镜适合观察生物样品天然状态。（）

6.电镜真空系统需达到绝对真空。（）

7.背散射电子成像可区分原子序数不同的元素。（）

8.STEM是TEM的工作模式。（）

9.非导电样品SEM观察必须喷金。（）

10.电镜操作前无需检查样品台清洁。（）

五、简答题（共4题，每题5分，共20分）

1.简述TEM基本工作原理。

2.简述SEM样品制备基本步骤。

3.简述EDS主要组成部分及作用。

4.简述冷冻电镜的优势及适用样品类型。

六、讨论题（共2题，每题5分，共10分）

1.如何提高TEM图像分辨率？

2.讨论SEM中背散射电子像与二次电子像的区别及应用场景。

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答案部分

一、填空题答案

1.纳米（nm）

2.样品室

3.空气分子（气体分子）

4.表面（三维）

5.硼（B，原子序数5）

6.晶体（微观结构）

7.天然（液态/冷冻）

8.波长

9.喷金（导电涂层）

10.厚度/密度（质量厚度）

二、单项选择题答案

1.B2.B3.A4.C5.C6.B7.A8.A9.A10.B

三、多项选择题答案

1.ABE2.ABCDE3.ABCE4.ABC5.ABC6.ABCD7.ABCDE8.ABCD9.ABC10.ABCDE

四、判断题答案

1.×2.×3.×4.×5.√6.×7.√8.√9.×10.×

五、简答题答案

1.TEM工作原理：电子枪发射高能电子束，经电磁透镜聚焦穿透薄样品；电子与样品原子散射（弹