CN107519960B 微通道及其制作方法 （清华大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN107519960B公告日2019.10.29

(21)申请号201710796751.2

(22)申请日2017.09.06

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN107519960A

(43)申请公布日2017.12.29

(73)专利权人清华大学

B33Y80/00(2015.01)审查员庄海民

地址100084北京市海淀区清华园

专利权人北京科技大学

(72)发明人陈皓生冯玉振李疆朱迪

(74)专利代理机构北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201

代理人赵天月

(51)Int.CI.

B01L3/00(2006.01)

B33Y10/00(2015.01)

权利要求书1页说明书11页附图12页

(54)发明名称

微通道及其制作方法

(57)摘要

CN107519960B本发明提出了微流道及其制作方法，该制作微通道的方法包括：将平面展开结构进行折叠而获得微通道；其中，微通道的截面是边数为N的正多边形，平面展开结构包括N个截面为等腰梯形的亚结构。本发明所提出的制作微通道的方法，获得的微通道的截面形状可以是三角形、四边形、五边形、六边形等多边形，几何形状更丰富；并且该方法还可在微通道的内壁，即平面展开结构的上表面，进行多次或多种的局部表面修饰或局部表面加工，从而可对微通道内壁的每一个表面进行不同表面图案的设计，然后再将平面展开结构折叠闭合即可形成内壁三维图案化修饰的

CN107519960B

CN107519960B权利要求书1/1页

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1.一种制作微通道的方法，其特征在于，所述微通道是通过将平面展开结构进行折叠而获得的；其中，所述微通道的截面是边数为N的正多边形，所述平面展开结构包括N个截面为等腰梯形的亚结构；并且，所述方法包括：

(1)基于所述正多边形的边数N,确定所述平面展开结构的设计参数；

(2)基于所述平面展开结构的设计参数，制作相应的模具；

(3)用所述模具进行浇注，以便获得所述平面展开结构；

(4)对所述平面展开结构的上表面进行局部表面修饰；

(5)将所述平面展开结构进行折叠，以便获得所述微通道。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述局部表面修饰包括表面润湿性修饰、表面涂层和表面金属薄膜沉积的至少一种。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述平面展开结构的设计参数进一步包括其上表面局部表面加工的参数。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述上表面局部表面加工包括沟槽条纹、凸起条纹、微凸点阵列、微凹坑阵列和表面粗糙度修饰中的至少一种。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(1)进一步包括：

(1-1)基于所述正多边形的边数N,确定所述等腰梯形的参数；

(1-2)基于所述正多边形的边数N和所述等腰梯形的参数，确定所述平面展开结构的设计参数。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(2)中，制作所述模具的方法包括3D打印、微铣削、激光加工和微硅加工中的至少一种。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(4)进一步包括：

将所述平面展开结构进行折叠并键合，以便获得所述微通道；

其中，所述键合包括胶粘、化学键合和热压的至少一种。

8.一种用于制作微流控器件的微通道，其特征在于，通过权利要求1～7任一项所述方法制作的。

CN107519960B说明书1/11页

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微通道及其制作方法

技术领域

[0001]本发明涉及微流控芯片制作技术领域，具体的，本发明涉及微流道及其制作方法。

背景技术

[0002]微流控芯片，在材料合成、生化分析以及生物医药等领域有广泛的应用，其中，微通道是微流控芯片的重要组成部分。微通道内壁的表面润湿性、表面涂层、表面薄膜沉积、表面粗糙度以及表面结构，都对微流控芯片功能的实现有很重要的作用。例如，制作乳化液滴的微流控芯片中，微通道局部需要进行润湿性修饰；制作水包油乳化液滴，需要在流体交汇处进行局部亲水修饰；而制作油包水乳化液滴，需要在流体交汇处进行局部疏水修饰；其中，一些亲水或疏水修饰可以通过表面涂层来实现。又如，内壁疏水的微通道表面经过表面