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《电子学特性测量超导体在微波频率下的表面电阻》

编制说明

1、工作简况：

1.1任务来源

本项目来源于国家标准化管理委员会下发的2025年第九批推荐性国家标准

202552

计划及相关标准外文版计划（国标委发【】号），项目名称为：电子学

特性测量超导体在微波频率下的表面电阻，国家标准计划号T-491，

1220251020268

研制周期为个月，自年月起，于年月止。起草单位为：电子

科技大学、中国科学院物理研究所、松山湖材料实验室、南京大学、清华大学、

大连大学、南开大学、天津海芯电子有限公司。归口单位为全国超导标准化技术

委员会，主管单位为中国科学院。

1.2背景

自全球高温超导研究兴起以来，高温超导薄膜作为关键应用方向之一，持续

受到电子材料领域的广泛关注。目前科研界已成功开发出多种高温超导相化合物

薄膜，尽管对这些材料超导机理尚未完全明确，材料科学层面仍存在诸多复杂氧

化物问题有待突破，但在学界与工业界的共同推动下，该类薄膜已逐步发展为具

有明确技术路径与产业前景的重要方向。

在应用层面，高温超导薄膜展现出广泛潜力，覆盖射频与微波通信、超导量

子干涉器件（用于极弱磁场探测）及超导计算机等多个领域。特别是在通信系统

中，基于该材料制备的微波无源器件已广泛应用于民用通信与雷达设备的前端模

块。这类器件，如高温超导带材制备的滤波器等，因具备高选频特性、强抗干扰

能力与低插入损耗等优势，显著提升了系统性能。得益于高温超导薄膜极低的微

波表面电阻，其构成的器件在损耗、噪声、体积和重量等方面均优于常规金属器

件，适用于构建高灵敏度接收机前端，从而有效增强电子系统的核心能力。

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随着高温超导技术产业化进程不断深入，市场对高质量薄膜的需求持续攀升。

在制备过程中，微波表面电阻R是评估薄膜性能的核心参数之一。准确测量R

SS

不仅有助于优化工艺、提升产品一致性，更是设计高性能超导微波器件的基础

——其数值直接关系到器件的传输损耗与噪声特性。此外，在理论研究方面，

R随频率、温度等变量的变化规律对理解超导机制具有重要意义，相关实验数

S

据也为理论模型提供了关键验证依据。

我国现行国家标准采用双介质谐振器法，并将改进型镜像介质谐振法作为可

替代方法，超导薄膜的R值进行测量。然而这两种方法存在测试效率瓶颈：双

S

介质谐振器法需要两次温度循环才能得到两片超导薄膜的R平均值；改进型镜

S

像介质谐振器法现有测试流程，每次温度循环仅能测试单面薄膜。而温度循环过

程本身极为耗时，测试时需在常温下安装测试装置，再将样品制冷至液氮温区，

完成测量后还需恢复至室温，整个流程通常超过一小时，难以适应工业化批量检

测的需求。因此，发展更高效的R测试方法，已成为推动高温超导薄膜进一步

S

产业化的重要课题。

1.3起草过程

1.3.1项目申请阶段

2024年3月，在全国超导标准化技术委员会秘书处老师的帮助和指导下，

电子科技大学、中国科学院物理研究所、松山湖材料实验室、南京大学、清华大

学、大连大学、南开大学、天津海芯电子有限公司等单位联合成立项目组，开始

标准的筹划和起草工作。

202510

年月，国家标准化管理委员会发文正式批准立项，由电子科技大学

牵头承担《电子学特性测量超导体在微波频率下的表面电阻》（国家标准计划

T-491）的制定工作。

2025年10月，成立标准制定工作组，工作组共计12人。其中曾成任组长，

成员包括袁洁、刘海文、张彩虹、魏斌、方志春、吴云、杨景婷、宁俊松、季鲁、

季来运、宋理强