CN106053393A 一种基于纳米共轴腔结构和表面等离激元效应的相对湿度传感器件及其制作方法 （南京信息工程大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN106053393A

(43)申请公布日2016.10.26

(21)申请号201610328896.5

(22)申请日2016.05.18

(71)申请人南京信息工程大学

地址210019江苏省南京市建邺区奥体大

街69号

(72)发明人倪海彬刘清倦常建华王婷婷倪波

(74)专利代理机构南京钟山专利代理有限公司

32252

代理人戴朝荣

(51)Int.CI.

GO1N21/47(2006.01)

B82Y40/00(2011.01)

权利要求书1页说明书4页附图2页

(54)发明名称

一种基于纳米共轴腔结构和表面等离激元效应的相对湿度传感器件及其制作方法

(57)摘要

CN106053393A本发明公开了一种基于纳米共轴腔结构和表面等离激元效应的相对湿度传感器件及其制作方法。其主要结构是由纳米金属共轴腔阵列，共轴腔内填充的凝胶以及反射式光纤探头构成。湿度传感原理是共轴腔内填充的凝胶的折射率会受周围环境相对湿度变化的影响，共轴腔内折射率的微小变化会引起共轴腔内表面等离激元谐振峰的偏移，表现在反射光谱上就是反射极小值的偏移。反射光谱极小值值波长和相对湿度有一一对应关系，由反射极小值波长可以计算得到相对湿度。其主要制作步骤为：采用纳米球自组装法制作单层复合微球阵列，经刻蚀、镀膜形成共轴腔阵列，再均匀填充凝胶即可。本发明形成

CN106053393A

CN106053393A权利要求书1/1页

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1.一种基于纳米共轴腔结构和表面等离激元效应的相对湿度传感元件，其特征在于：采用垂直沉积sol-gel协同自组装法在载玻片平面基底表面涂覆有一层聚苯乙烯微球和SiO?凝胶的复合薄膜，在复合薄膜外采用磁控溅射镀膜机溅射一层金属膜，形成金属纳米共轴腔阵列薄膜；采用旋涂法在金属纳米共轴腔阵列薄膜上旋涂一层SiO?凝胶；在载玻片平面基片的背面粘贴加热电极制成相对湿度传感元件；所述的相对湿度传感元件通过光纤探头测试金属纳米共轴腔阵列薄膜的共轴腔阵列的反射光谱解调出相对湿度。

2.如权利要求1所述的基于纳米共轴腔结构和表面等离激元效应的相对湿度传感元件，其特征在于：所述金属膜的材料为金、银或铝。

3.如权利要求1所述的基于纳米共轴腔结构和表面等离激元效应的相对湿度传感元件，其特征在于：所述共轴腔的直径小于1微米，缝宽小于250纳米，共轴腔开口的一面填充透明光敏薄膜，腔的另一面紧靠加热装置。

4.如权利要求1所述的基于纳米共轴腔结构和表面等离激元效应的相对湿度传感元件，其特征在于：所述反射光谱的测试范围是可见及近红外波段。

5.一种基于纳米共轴腔结构和表面等离激元效应的相对湿度传感元件的制备方法，其特征在于：制备步骤如下：

a)取平面基底，分别用丙酮、酒精、去离子水超声清洗，氮气吹干；再用等离子清洗机基底处理；

b)将处理后的平面基底用定制的容器和夹具固定；

c)配置SiO?的前驱物溶液，SiO?的前驱物溶液质量比为——TEOS(98wt%):0.1M/L的HC1:无水乙醇=1:1:1.5,搅拌一小时备用；

d)配置聚苯乙烯材料的胶体微球溶液，微球直径偏差/平均直径×100%0.2%,溶剂为去离子水；

e)将c)中配置的前驱物溶液添加到d)中配置的胶体微球溶液中；

f)将步骤e)中配置的溶液倒入步骤b)中固定有平面基底的容器内，淹没平面基底，同时保持基底所在平面垂直于液面；

g)将步骤f)中的容器置于恒温干燥箱内，在一定的温度、湿度的条件下，采用垂直沉积溶胶凝胶(sol-gel)协同自组装法在平面基底表面涂覆一层聚苯乙烯微球和凝胶的复合薄膜；

h)将步骤g)中得到的薄膜采用反应离子刻蚀技术，部分刻蚀PS微球形成环形凹坑，凹坑的尺寸可以通过刻蚀参数控制，然后采用磁控溅射镀膜机溅射一层金属膜，从而形成金属纳米共轴腔阵列；

i)采用旋涂法在h)中制备的金属共轴腔阵列薄膜上旋涂一层SiO?凝胶，并在氮气气氛中400度加热，冷却后在平面基片的背面粘贴加热电极即可。

6.如权利要求5所述的基于纳米共轴腔结构和表面等离激元效应的相对湿度传感元件，其特征在于：以协同自组装方法形成的单层胶体微球和前驱物凝胶的有序复合结构薄