CN105958961B 一种石英谐振器的制作方法 （北京无线电计量测试研究所）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN105958961B公告日2018.09.25

(21)申请号201610269557.4

(22)申请日2016.04.27

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN105958961A

(43)申请公布日2016.09.21

(73)专利权人北京无线电计量测试研究所

地址100854北京市海淀区142信箱408分

箱

(72)发明人崔巍潘立虎叶林周伟平

郑文强王作羽刘小光王莉哈斯图亚李国强

(74)专利代理机构北京国昊天诚知识产权代理有限公司11315

代理人黄熊

(51)Int.CI.

HO3H3/04(2006.01)

HO3H9/10(2006.01)

HO3H9/19(2006.01)

(56)对比文件

CN104535449A,2015.04.22,

JP昭54-78690A,1979.06.22,

JP特开2008-177723A,2008.07.31,审查员陈沙沙

权利要求书1页说明书6页附图3页

(54)发明名称

一种石英谐振器的制作方法

(57)摘要

CN105958961B本发明公开了一种石英谐振器的制作方法，包括：通过将上下电极与石英晶片悬离，消除金属膜附着在石英晶片表面所产生的内应力，同时也排除了由于蒸镀或溅镀时使用的真空油泵散发的油气对石英晶片产生污染引起的石英谐振器输出频率不稳定。同时在封装是采用真空技术，将石英晶片内部的水、氧化物等杂质排出，有

CN105958961B

根视石英谐振踏

的设定再荡预多。时石莫品体材骅迁行处理、得封所婴石英模落器申的吞英晶片

根認所述石英晶片的物理参数，碗定阳于淘定所述石类品片的上电极底和下电双轩底

分前对石英品牛、上电极补底。下电极新康、※座。外流选行凌活处理

分别在上电极耐旅和下他枝时盛上迷行食属就膜，装探会属摸所着的上电极材底和下包极衬底

将石美品片、网者金属膜的上电核种族，批着金及膜的下电饭特成和法座进疗装配，开在装配后进行牌烤清德

街装处理，得到石英奇

CN105958961B权利要求书1/1页

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1.一种石英谐振器的制作方法，其特征在于，包括：

根据石英谐振器的设定振荡频率，对石英晶体材料进行处理，得到所述石英谐振器中的石英晶片；

根据所述石英晶片的物理参数，确定用于固定所述石英晶片的上电极衬底和下电极衬底；

分别在上电极衬底和下电极衬底上进行金属镀膜，使得金属膜附着的上电极衬底和下电极衬底；

封装所述石英晶片、所述上电极衬底和所述下电极衬底，得到石英谐振器；其中，

所述下电极衬底上包含下电极衬底定位缺口和下电极衬底定位台阶，所述下电极衬底定位缺口用于固定所述石英晶片，使所述石英晶片与所述下电极衬底上的下电极金属膜悬离。

2.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，

在封装所述石英晶片、所述上电极衬底和所述下电极衬底之前，所述方法还包括：

分别对所述石英晶片、所述上电极衬底、所述下电极衬底、基座、外壳进行清洁处理。

3.如权利要求或1或2所述的制作方法，其特征在于，

封装所述石英晶片、所述上电极衬底和所述下电极衬底，包括：

将所述石英晶片、附着金属膜的所述上电极衬底、附着金属膜的所述下电极衬底和基座进行装配，并在装配后进行烘烤清洗处理。

4.如权利要求3所述的制作方法，其特征在于，

封装所述石英晶片、所述上电极衬底和所述下电极衬底，包括：

采用冷压焊封方式对所述石英晶片、附着金属膜的所述上电极衬底、附着金属膜的所述下电极衬底和基座进行封装。

CN105958961B说明书1/6页

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一种石英谐振器的制作方法

技术领域

[0001]本申请涉及通信技术领域，尤其涉及一种石英谐振器的制作方法。

背景技术

[0002]石英晶体是一种具有压电效应的材料。所谓压电效应包含正压电效应和逆压电效应，其中，采用机械方法使石英晶体发生形变(例如：采用物理方法使石英晶体表面发生相对形变)进而导致石英晶体内部正负电荷分布不均而产生电极化，这一过程称为正压电效应；若采用外加电路为石英晶体提供一定的电场，该