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集成电路显微图像大面积缺陷修补技术的探索与实践

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代社会，集成电路作为电子设备的核心部件，广泛应用于通信、计算机、医疗、汽车等各个领域，从智能手机、电脑到卫星导航、医疗设备，集成电路的身影无处不在，已然成为推动现代科技发展的基石，其重要性不言而喻。集成电路被誉为“现代工业的粮食”，是信息时代重要的技术基础，也是国家战略竞争力的重要标志，对现代社会经济发展起着基础性作用，是国家安全的重要保障，在能源安全与碳中和、智能机器人和数字中国建设等方面都发挥着关键作用。

然而，在集成电路的制造过程中，由于工艺步骤繁多（有的多达几十、上百步），且无法做到所有工艺步骤的