CN102902156A 一种自由曲面光学微镜阵列的制作方法 （长春理工大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN102902156A

(43)申请公布日2013.01.30

(21)申请号201210171544.5

(22)申请日2012.05.30

(71)申请人长春理工大学

地址130022吉林省长春市卫星路7989号

(72)发明人孙艳军董连和冷雁冰陈哲

(74)专利代理机构长春众益专利商标事务所

(普通合伙)22211代理人赵正

(51)Int.CI.

GO3F7/00(2006.01)

权利要求书2页说明书5页附图2页

(54)发明名称

一种自由曲面光学微镜阵列的制作方法

(57)摘要

CN102902156A一种自由曲面光学微镜阵列的制作方法，属于光学技术领域，步骤是在基片表面涂布感光胶，加热后烘胶厚，根据自由曲面表面的坐标值点进行变剂量曝光，通过显影后得到感光胶自由曲面面型结构，对基片进行均匀化处理、动态离子束刻蚀和流体抛光，制得光学微镜阵列。本发明制得的光学微镜阵列光能利用率高，光照均匀，光斑形状可控。其制作方法简单易行，通过改变曝光系统光

CN102902156A

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