Q_ZMS 168-2023 168 碳化硅（SiC）晶圆化学机械抛光用纳米抛光液.docxVIP

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Q/ZMS(N)

郑州磨料磨具磨削研究所有限公司企业标准

Q/ZMS(N)168—2023

碳化硅（SiC）晶圆化学机械抛光用纳米抛

光液

Nano-polishingslurryforsiliconcarbide(SiC)waferchemicalmechanicalpolishing

2023-12-16发布2023-12-16实施

郑州磨料磨具磨削研究所有限公司发布

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Q/ZMS(N)168—2023

前言

本标准按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》给出的规则起草。

本标准由郑州磨料磨具磨削研究所有限公司提出并归口。

本标准起草单位：郑州磨料磨具磨削研究所有限公司制品四部。

本标准主要起草人：代克、徐明艳、豁国燕、李玄峰。

本标准为首次发布。

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Q/ZMS(N)168—2023

碳化硅（SiC）晶圆化学机械抛光用纳米抛光液

1范围

本标准规定了碳化硅（SiC）晶圆化学机械抛光用纳米抛光液的产品代号和标记、产品规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、储存和运输。

本标准适用于碳化硅（SiC）晶圆化学机械抛光用纳米抛光液（以下简