CN105789347B 基于GeSn‑GeSi材料的异质型光电晶体管及其制作方法 （西安电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN105789347B公告日2017.10.24

(21)申请号201610117819.5

(22)申请日2016.03.02

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN105789347A

(43)申请公布日2016.07.20

HO1L31/11(2006.01)

HO1L31/18(2006.01)

审查员谢添

(73)专利权人西安电子科技大学

地址710071陕西省西安市太白南路2号

(72)发明人韩根全王轶博张春福汪银花张进成郝跃

(74)专利代理机构陕西电子工业专利中心

61205

代理人田文英王品华

(51)Int.CI.

HO1L31/028(2006.01)

HO1L31/0288(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图2页

(54)发明名称

基于GeSn-GeSi材料的异质型光电晶体管及其制作