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弛豫铁电薄膜储能特性的调控策略.pdf

第42卷第2期深圳大学学报理工版Vol.42No.2

2025年3月JournalofShenzhenUniversityScienceandEngineeringMar.2025

【材料科学/MaterialsScience】

弛豫铁电薄膜储能特性的调控策略

1，2，33，4

吴琼，董蜀湘

1）清华大学材料学院，新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室，北京100084；2）乌镇实验室，浙江嘉兴314500；3）深圳大

学高等研究院，广东深圳518051；4）北京大学材料科学与工程学院，北京100871

摘要：弛豫铁电薄膜电容器具有功率密度高、充放电速度快、质量轻、体积小和易集成等特点，符

合微电子器件高储能密度的发展趋势．目前，弛豫铁电薄膜的可释放能量密度已经超过100J/cm，充放电

效率达90%以上，且击穿电场强度较高，抗疲劳特性优异，初步形成实用价值．基于弛豫铁电薄膜的储能

原理，从实验角度出发，探讨了弛豫铁电薄膜储能特性的调控方法（元素掺杂、复合结构与固溶体），从微

观、介观与宏观尺度探讨了3种调控方法的物理机制，及在储能特性提升方面的优势与局限性．分析认为

元素掺杂虽易实现，但限于调控维度低，对弛豫铁电薄膜储能特性的改善并不理想．复合结构利用两种或

多种材料相关性能的近似线性叠加，对储能特性改善有了进一步提高，但宏观层间耦合的晶格失配导致缺

陷密度增大，降低了薄膜的击穿强度与可靠性．固溶体策略通过将不同材料体系在微观晶格尺度进行匹

配，高效调控出多相共存与极性纳米微区，显著提升了弛豫铁电薄膜的储能特性．研究成果可为弛豫铁电

薄膜储能特性的提升提供全面的研究策略指导.

关键词：材料物理与化学；电容器；弛豫铁电薄膜；储能；可释放能量密度；充放电效率；元素掺

杂；复合结构；固溶体

中图分类号：TM534；O469文献标志码：ADOI：10.3724/SP.J.1249.2025.02123

Strategiesforregulatingenergystorage

characteristicsofrelaxorferroelectricfilms

WUQiong1,2,3andDONGShuxiang3,4

1)CollegeofMaterialsScienceandEngineering,StateKeyLaboratoryofNewCeramicsandFineCrafts,TsinghuaUniversity,Beijing

100084,P.R.China

2)WuzhenLaboratory,Jiaxing314500,ZhejiangProvince,P.R.China

3)AdvancedResearchInstitute,ShenzhenUniversity,Shenzhen518051,GuangdongProvince,P.R.China