珠三角第三代半导体用石英部件（刻蚀腔用）建设工程可行性研究报告.docx

珠三角第三代半导体用石英部件（刻蚀腔用）建设工程可行性研究报告

第一章项目总论

项目名称及建设性质

项目名称：珠三角第三代半导体用石英部件（刻蚀腔用）建设工程

建设性质：本项目属于新建高新技术产业项目，专注于第三代半导体刻蚀腔用石英部件的研发、生产与销售，旨在填补珠三角地区在该高端石英部件领域的产能缺口，推动区域半导体产业链的完善与升级。

项目占地及用地指标：项目规划总用地面积35000平方米（折合约52.5亩），建筑物基底占地面积22750平方米；规划总建筑面积42000平方米，其中生产车间面积30000平方米、研发中心面积5000平方米、办公用房3000平方米、职工宿舍2500平