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CN113851457B 一种无离子注入抗辐照功率晶体管及其制备方法 （深圳技术大学）.docxVIP

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  • 2026-03-14 发布于山西
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CN113851457B 一种无离子注入抗辐照功率晶体管及其制备方法 （深圳技术大学）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN113851457B

    (45)授权公告日2025.06.03

    (21)申请号202111119958.9

    (22)申请日2021.09.24

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN113851457A

    (43)申请公布日2021.12.28

    (73)专利权人深圳技术大学

    地址518118广东省深圳市坪山区石井街

    道兰田路3002号

    (72)发明人赵珩左旭民卢剑豪于洋郭东鑫

    (74)专利代理机构贵阳中工知识产权代理事务所52106

    专利代理师杨成刚

    (51)Int.Cl.

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