MEMS芯片器件用非蒸散型吸气剂的Ti基与Zr基研究状况说明书.pdf

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真空科学与技术学报第41卷第7期

674CHINESEJOURNALOFVACUUMSCIENCEANDTECHNOLOGY2021年7月

MEMS芯片器件用非蒸散型吸气剂的研究状况

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