CN103868982A 一种微腔阵列质谱靶板及其制作方法和应用 （国家纳米科学中心）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN103868982A

(43)申请公布日2014.06.18

(21)申请号201410100307.9

(22)申请日2014.03.18

(71)申请人国家纳米科学中心

地址100190北京市海淀区中关村北一条

11号

(72)发明人王蔚芝李梦林魏泽文胡志远

(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司

11332

代理人巩克栋杨晞

(51)Int.CI.

GO1N27/64(2006.01)

GO1N21/552(2014.01)

权利要求书1页说明书8页附图5页

(54)发明名称

一种微腔阵列质谱靶板及其制作方法和应用

(57)摘要

CN103868982A本发明涉及一种微腔阵列质谱靶板及其制作方法和应用。所述微腔阵列质谱靶板包括基片、在所述基片上形成的粘附层和在所述粘附层上形成的导电层，所述微腔阵列质谱靶板的有导电层的一侧设有与表面等离子体共振成像检测区域相一致的微腔区域，所述微腔区域位置的基片上蚀刻有微腔，所述微腔开口于所述导电层并排列成阵列。本发明的微腔阵列质谱靶板可筛选和富集“一珠一物”多肽文库中的阳性靶标，并将其直接进行原位基质辅助激光解析电离-飞行时间质谱检测；并可与表面等离子体共振成像联用，进行

CN103868982A

CN103868982A权利要求书1/1页

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1.一种微腔阵列质谱靶板，包括基片、在所述基片上形成的粘附层和在所述粘附层上形成的导电层，所述微腔阵列质谱靶板的有导电层的一侧设有与表面等离子体共振成像检测区域相一致的微腔区域，所述微腔区域位置的基片上蚀刻有微腔，所述微腔开口于所述导电层并排列成阵列。

2.根据权利要求1所述的微腔阵列质谱靶板，其特征在于，所述微腔的形状为正方体或棱台形；

优选地，所述微腔边长宽度为30～300微米、深度为30～300微米。

3.根据权利要求1或2所述的微腔阵列质谱靶板，其特征在于，每个微腔仅能容纳一个多肽微珠；

优选地，所述多肽微珠的粒径为100～300微米，优选120～250微米，更优选150~180微米。

4.根据权利要求1-3任一项所述的微腔阵列质谱靶板，其特征在于，所述微腔区域的微腔个数为4～900个。

5.根据权利要求1-4任一项所述的微腔阵列质谱靶板，其特征在于，所述微腔区域的面积为0.5～4cm2。

6.根据权利要求1-5任一项所述的微腔阵列质谱靶板，其特征在于，所述基片的材料为硅；

优选地，所述基片的厚度为200微米～1毫米。

7.根据权利要求1-6任一项所述的微腔阵列质谱靶板，其特征在于，所述粘附层的材料为钛；

优选地，所述粘附层的厚度为10～100纳米。

8.根据权利要求1-7任一项所述的微腔阵列质谱靶板，其特征在于，所述导电层的材料为金、银或铂，优选为银；

优选地，所述导电层的厚度为100～500纳米。

9.一种制作权利要求1-8任一项所述的微腔阵列质谱靶板的方法，包括如下步骤：

(1)打印预先设计的微腔阵列图，形成掩膜；

(2)利用光刻胶将所述掩膜转移到基片上；

(3)通过曝光、显影和去胶得到微腔阵列图；

(4)蚀刻所述基片，并去除剩余的光刻胶和氧化层，得到微腔阵列；

(5)分别溅射粘附层和导电层；

(6)按照预先设计的规格划片得到所述微腔阵列质谱靶板。

10.一种权利要求1-8任一项所述的微腔阵列质谱靶板在组合化学多肽文库的筛选中的应用。

CN103868982A说明书1/8页

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一种微腔阵列质谱靶板及其制作方法和应用

技术领域

[0001]本发明涉及微阵列芯片技术领域，尤其涉及一种微腔阵列质谱靶板及其制作方法和在组合化学多肽文库的筛选中的应用。

背景技术

[0002]芯片实验室(Labonachip)已发展成为当今世界上最前沿的科技领域之一(Sens.Actutors,B,1990,1,244-248.)。微芯片技术是把化学和生物学等领域所涉及的前处理、加样、反应、分离、分析等基本操作单元集成或基本集成到方寸大小的芯片之上，以取代常规化学或生物实验室各种功能的技术平台。

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