CN103920545B 基于pdms芯片的微流体可调谐光学滤波器及其制作方法 （上海市刑事科学技术研究院）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN103920545B

(45)授权公告日2015.05.20

(21)申请号201410168201.2

(22)申请日2014.04.24

(73)专利权人上海市刑事科学技术研究院

地址200083上海市虹口区中山北一路803

号

(72)发明人邹芸梁培斯黄晓春蔡能斌刘文斌蔡伟思糜忠良

CN102879845A,2013.01.16,全文.

CN103529520A,2014.01.22,全文.

李雪春.集成光子晶体滤波器和微流体光波导器件的研究.《集成光子晶体滤波器和微流体光波导器件的研究》.2010,56-74.

审查员刘学禹

(74)专利代理机构上海交达专利事务所31201代理人王毓理王锡麟

(51)Int.CI.

BO1L3/00(2006.01)

(56)对比文件

CN203853094U,2014.10.01,权利要求

1-7.

WOA2,2002.09.06,全文.权利要求书1页说明书4页附图2页

(54)发明名称

基于PDMS芯片的微流体可调谐光学滤波器及其制作方法

(57)摘要

CN103920545B一种光学检测技术领域的基于PDMS芯片的微流体可调谐光学滤波器及其制作方法，包括：自发辐射光源、带有双微通道的PDMS微流体芯片、光谱仪以及两组独立工作的注射泵，微流体芯片的光入射端和出射端分别与自发辐射光源和光谱仪通过耦合光纤相连，微流体芯片的第一和第二流体注入端分别与两组独立工作的注射泵相连；本发明丁字型通道结构在注入液体时，其所需注液压力小，液体不容易发生喷溅，性能稳定；两种液体在水平通道上开始扩散互混，在纵向产生的液体折射率梯度明显，灵敏度高等优点。本发明可在光流控芯片中集成，方便应用到生物及环境实时监测中方便取样而不影响干涉曲线的观测

CN103920545B

CN103920545B权利要求书1/1页

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1.一种基于PDMS芯片的微流体可调谐光学滤波器，其特征在于，包括：自发辐射光源、带有双微通道的PDMS微流体芯片、光谱仪以及两组独立工作的注射泵，其中：微流体芯片的光入射端和出射端分别与自发辐射光源和光谱仪通过耦合光纤相连，微流体芯片的第一和第二流体注入端分别与两组独立工作的注射泵相连；

所述的微流体芯片包括：分别位于光入射端和出射端的空气凹透镜以及两条带有注入端和输出端且相互连通的液体微通道，其中：液体微通道平行设置于空气凹透镜之间且中部设有隔断部分。

2.根据权利要求1所述的可调谐光学滤波器，其特征是，所述的自发辐射光源通过掺铒光纤放大器放大，其波长范围为1528nm-1573nm。

3.根据权利要求1所述的可调谐光学滤波器，其特征是，所述的注射泵内分别装有两种不同液体，该注射泵与步进电机相连且注射精度为0.1μL/min。

4.根据权利要求1所述的可调谐光学滤波器，其特征是，所述的隔断部分的长度为300μm,最大宽度为30μm。

5.根据权利要求1所述的可调谐光学滤波器，其特征是，所述的液体微通道的宽度为125μm,深度为125μm,长度为1mm。

6.根据权利要求1所述的可调谐光学滤波器，其特征是，所述的微流体芯片内左右两端设有宽度为128μm的方形截面光纤槽，使得插入导光光纤后光纤出射端口和会聚端口离空气凹透镜的距离在200μm。

7.根据权利要求1所述的可调谐光学滤波器，其特征是，所述的耦合光纤采用纤芯直径为9μm、外径为125μm的单模光纤，光纤的数值孔径为0.14。

8.一种涉及上述任一权利要求所述可调谐光学滤波器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)采用光刻的方法制备出带有微通道凸结构的阳模，将PDMS浇注于阳模模板上，然后进行加热固化处理；

2)将PDMS聚合物从模板上剥离得到带有双微通道结构的单面芯片，将该单面芯片与一表面平整且经加热固化处理的PDMS底板键合成为微流体芯片，将微流体芯片组装后制成微流体可调谐光学滤波器。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征是，所述的阳模通过AutoCAD设计出PDMS微流体芯片中的微结构，采用图形发生器把设计版图上的微结构转移到高精度的光掩模