CN103866291A 一种耐腐蚀的气体喷淋头及其制作方法 （中微半导体设备(上海)有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN103866291A

(43)申请公布日2014.06.18

(21)申请号201210553227.X

(22)申请日2012.12.18

(71)申请人中微半导体设备(上海)有限公司

地址201201上海市浦东新区金桥出口加工

区(南区)泰华路188号

(72)发明人张力贺小明浦远倪图强

(74)专利代理机构上海智信专利代理有限公司

31002

代理人王洁

(51)Int.CI.

C23CC23C

16/455(2006.01)28/00(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图2页

(54)发明名称

一种耐腐蚀的气体喷淋头及其制作方法

(57)摘要

CN103866291A本发明公开了一种耐腐蚀的气体喷淋头及其制造方法，通过将传统的气体喷淋头的气体通孔设置为直径不同的两段，在不影响气体流速的前提下提高了涂层进入气体通孔的深度，同时，采用对分别气体喷淋头上下表面涂覆陶瓷涂层，使得气体通孔的内表面可以完全涂覆防腐蚀的陶瓷涂

CN103866291A

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CN103866291A权利要