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CN114005748B 一种半导体器件的表面平坦化方法 （株洲中车时代半导体有限公司）.docxVIP

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  • 2026-03-15 发布于山西
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CN114005748B 一种半导体器件的表面平坦化方法 （株洲中车时代半导体有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN114005748B

    (45)授权公告日2025.05.27

    (21)申请号202111267168.5

    (22)申请日2021.10.28

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114005748A

    (43)申请公布日2022.02.01

    (73)专利权人株洲中车时代半导体有限公司地址412001湖南省株洲市石峰区田心高

    科园半导体三线办公大楼三楼309室

    (72)发明人卜毅罗湘曾琪曾凯何逸涛冯宇

    (74)专利代理机构北京风雅颂专利代理有限公司11403

    专利

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