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年产160台半导体级大尺寸单晶炉生产项目可行性研究报告

第一章项目总论

项目名称及建设性质

项目名称：年产160台半导体级大尺寸单晶炉生产项目

建设性质：本项目属于新建工业项目，专注于半导体级大尺寸单晶炉的研发、生产与销售，产品主要应用于集成电路用硅单晶、碳化硅单晶等半导体材料制备领域，旨在填补国内高端单晶炉设备国产化短板，助力半导体产业链自主可控发展。

项目占地及用地指标：项目规划总用地面积52000.36平方米（折合约78.00亩），建筑物基底占地面积37440.26平方米；规划总建筑面积61200.42平方米，其中绿化面积3380.02平方米，场区停车场及道路硬化占地面积108