CN103954600B 一种荧光纳米标尺部件及其制作方法 （国家纳米科学中心）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN103954600B公告日2017.01.25

(21)申请号201410197201.5

(22)申请日2014.05.12

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN103954600A

(43)申请公布日2014.07.30

(73)专利权人国家纳米科学中心

地址100190北京市海淀区中关村北一条

11号

(72)发明人汪先友唐云青戴陆如

(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司

11332

代理人巩克栋杨晞

(51)Int.CI.

GO1N21/64(2006.01)

G01Q40/02(2010.01)

审查员汤晨光

权利要求书2页说明书5页附图2页

(54)发明名称

一种荧光纳米标尺部件及其制作方法

(57)摘要

CN103954600B本发明涉及一种荧光纳米标尺部件及其制作方法。所述荧光纳米标尺部件包括透明基底、在所述透明基底上形成的非透明导电层以及在所述非透明导电层上形成的抗刻蚀掩膜层，所述非透明导电层和抗刻蚀掩膜层的对应位置上有一系列间隔设置的、具有预设纳米尺度的沟槽，所述沟槽完全贯穿所述非透明导电层和抗刻蚀