CN114008525B 抗蚀剂组合物纯化品的制造方法、抗蚀剂图案形成方法、及抗蚀剂组合物纯化品 （东京应化工业株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN114008525B

(45)授权公告日2025.05.23

(21)申请号202080044627.0

(22)申请日2020.05.20

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114008525A

(43)申请公布日2022.02.01

(30)优先权数据

2019-0961932019.05.22JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2021.12.17

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2020/0199982020.05.20

(87)PCT国际申请的公布数据

WO202