LEDA-P6800维护保养手册.pdfVIP

P6800

MAINTAIN

MANUAL

•

一d

目^

目^2

圈目^3

表目it3

1.等粉5

2.段倩说明5

2.13殳借外觑^明6

2.2内部檄情貌明7

3.鼓倩安装9

3.1横台^整9

3.1.1檄台水调整9

3.1.2CHUCK水^整10

XY直交调整11

4.EDGESENSORT12运用祝明12

4.1各部名耦12

4.2运用丰兑明12

4.3EDGESENSOR安装13

4.4运用NFJ调斜•模铝L的整£十座15

5,定期保恭尊踱16

5.1P6800定期保春维畤■程表16

5.2保4MMi貌明17

5.2.1清瀑散热凰扇17

5.2.2螺椁滑轨清澈及上油18

5.23检查真空屋力20

6.相^^路圈21

园目^

圈2.1言殳儒全檄外5

02.2t殳儒外之兑明6

02.3械台内部械精7

圈2.4Platform模黜L8

®3.1水俄9

园3.2檄台水^整就明9

圈3.3千分^1()

@3.4huck水之周整睨明10

m3.5huck水耨整螺^^11

圈3.6XY直交调整11

ffl4.1EdgeSensor幺田吾口名耦吉昭明12

E14.2EdgeSensor名田包口名耦就明13

圈4.3NFJ言周咨十模名且14

@4.4QLMZ快拆模姐14

ffl4.5NFJ^$十模组15

®4.6NFJt^至十谩程15

04.7NFJ^咨十完成圈16

05.1清澈散热蜀扇猊明18

05.2XY轴螺才早滑轨保卷睨明19

05.3Z率由螺才旱保养^明20

05.4检查真空屋力演20

06.2MainPower22

06.3ProberXY23

06.4ProberZT24

S]6.5ProberSens25

园6.6KeypadBoar26

圈6.7SINKBoa27

@6.8IFBoard28

06.9PModule29

表目^

表2.16

表2.27

表2.38

表5.1定期保置雉^畤程表16

1.

此手册辞黜睨明P6800檄台W殳倦其保善雉3堂