CN104409495B 直角栅场板异质结场效应晶体管及其制作方法 （西安电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN104409495B公告日2017.03.29

(21)申请号201410660230.0

(22)申请日2014.11.18

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN104409495A

(43)申请公布日2015.03.11

(73)专利权人西安电子科技大学

地址710071陕西省西安市太白南路2号

(72)发明人毛维郝跃范举胜董萌

刘红侠杨林安王冲郑雪峰张金风

(74)专利代理机构陕西电子工业专利中心

61205

代理人王品华朱红星

(51)Int.CI.

HO1L29/778(2006.01)

HO1L29/423(2006.01)

HO1L29/06(2006.01)

HO1L21/335(2006.01)

(56)对比文件

US2009/0261384A1,2009.10.22,CN101414625A,2009.04.22,

CN103137476A,2013.06.05,

US2