CN104409481A 槽栅型直角复合栅场板异质结器件及其制作方法 （西安电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(43)申请公

(10)申请公布号CN104409481A布日2015.03.11

(21)申请号201410658901.X

(22)申请日2014.11.18

(71)申请人西安电子科技大学

地址710071陕西省西安市太白南路2号

(72)发明人毛维佘伟波张延涛葛安奎杨翠郝跃

(74)专利代理机构陕西电子工业专利中心

61205

代理人王品华朱红星

权利要求书2页说明书10页附图3页

(51)Int.CI.

HO1L

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29/40(2006.01)29/778(2006.01)

21/335(2006.01)21/28(2006.01)

(54)发明名称

槽栅型直角复合栅场板异质结器件及其制作方法

字形栅场板12凹梧10

字形栅场板12

凹梧10

高介电常数介质

漏极5

榴极8

栅槽

衬底!

典化层

过渡层2

台面6

CN104409481A本发明公开了一种槽栅型直角复合栅场板异质结器件及其制作方法，主要解决现有场板技术在实现高击穿电压时工艺复杂的问题。其包括：衬底(1)、过渡层(2)、势垒层(3)、源极(4)、漏极(5)、