CN104409597A 一种红色led芯片制程工艺中的电极制作方法 （无锡科思电子科技有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN104409597A

(43)申请公布日2015.03.11

(21)申请号201410644761.0

(22)申请日2014.11.14

(71)申请人无锡科思电子科技有限公司

地址214028江苏省无锡市新区长江路7号

科技园二区501号

(72)发明人沈智广

(74)专利代理机构南京经纬专利商标代理有限公司32200

代理人许方

(51)Int.CI.

HO1L33/36(2010.01)

HO1L33/00(2010.01)

权利要求书1页说明书3页附图1页

(54)发明名称

一种红色LED芯片制程工艺中的电极制作方法

(57)摘要

CN104409597A本发明公开了一种红色LED芯片制程工艺中的电极制作方法，将蒸镀完P面、N面的LED芯片置于黄光室内，在P面涂保护胶；在保护胶层上设置掩膜板，然后进行光照，形成保护层；进行显影定影，对P面的金属层进行蚀刻，形成P面的接触电极，并进行去胶清洗；在P面的接触电极上依次蒸镀钛层、铝层，形成P面的焊线电极；对P面的焊线电极涂保护胶；并进行显影定影后，将涂保护胶后的P面的焊线电极进行蚀刻，并进行去胶