CN104380206A 滚筒模具的制作装置及制作方法 （旭化成株式会社）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN104380206A

(43)申请公布日2015.02.25

(21)申请号201380025153.5

(22)申请日2013.05.10

(74)专利代理机构上海市华诚律师事务所

31210

(30)优先权数据

2012-1108772012.05.14

JP

代理人肖华(51)Int.CI.

(85)PCT国际申请进入国家阶段日

2014.11.13

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2013/0631772013.05.10

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2013/172267JA2013.11.21

(71)申请人旭化成株式会社

地址日本国东京都千代田区神田神保町一丁目105番地

(72)发明人伊藤直人北田敏夫

GO3F

B29CB29C

HO1L

7/24(2006.01)

33/38(2006.01)

59/04(2006.01)

21/027(2006.01)

权利要求书1页说明书8页附图16页

(54)发明名称

滚筒模具的制作装置及制作方法

(57)摘要

CN104380209A在滚筒模具的表面上针对每一规定区域向圆周方向曝光掩模图案的所谓的步进与重复