CN112563380B Si衬底的AlGaN基深紫外LED外延片及制备方法 (深圳市昂德环球科技有限公司).docxVIP

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  • 2026-03-18 发布于山西
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CN112563380B Si衬底的AlGaN基深紫外LED外延片及制备方法 (深圳市昂德环球科技有限公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN112563380B

(45)授权公告日2025.06.20

(21)申请号202011549420.7

(22)申请日2020.12.24

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN112563380A

(43)申请公布日2021.03.26

(73)专利权人深圳市昂德环球科技有限公司地址518000广东省深圳市南山区粤海街

道高新区社区高新南九道45号西北工业大学三航科技大厦16层1611

专利权人惠州市三航无人机技术研究院

(72)发明人高芳亮杨金铭

(74)专利代理机构深圳市精英专

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