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- 2026-03-18 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号CN118553583B
(45)授权公告日2025.01.14
(21)申请号202411027827.1(51)Int.Cl.
H01J37/18(2006.01)
(22)申请日2024.07.30
H01L21/04(2006.01)
(65)同一申请的已公布的文献号
H01L21/67(2006.01)
申请公布号CN118553583A
H01J
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