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微电子学资料gate_3.pdfVIP

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  • 2026-03-18 发布于浙江
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微电子学资料gate_3.pdf

    4.EvaluationofGatedielectricthickness

    4.1PhysicalThickness

    ❑Highresolutiontransmissionelectronmicroscope(HRTEM):

    themostaccurateanddirectwaytomeasurethefilmthickness.

    ➢Advantages

    a.Noanyphysicalassumptionorapproximationinmeasurement

    b.Thesiliconlatticespacingserveasabuilt-inthicknessstandard

    =noneedtocareaboutthemagnificationscaleerror.

    c.Theabilitytoseetheroughnessoftheinterfaceisadditionaladvantage

    ➢Disadvantages

    a.TEMsample

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