CN104701359B 垂直结构AlGaNGaN HEMT器件及其制作方法 （苏州能屋电子科技有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN104701359B公告日2018.02.02

(21)申请号201510103132.1

(22)申请日2015.03.10

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN104701359A

(43)申请公布日2015.06.10

(73)专利权人苏州能屋电子科技有限公司

地址215000江苏省苏州市工业园区星湖

街218号生物纳米园A4楼110B室

(72)发明人孙世闯张宝顺范亚明付凯蔡勇于国浩张志利宋亮

(74)专利代理机构南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)32256

代理人王锋

(51)Int.CI.

HO1L29/06(2006.01)

HO1L29/778(2006.01)

HO1L21/335(2006.01)

HO1L21/265(2006.01)

(56)对比文件

US2005/0258450A1,2005.11.24,

US2005/0258450A1,2005.11.24,CN103311288A,2013.09.18,

US2010/0038681