CN104658907B 一种逆阻型绝缘栅型双极晶体管的制作方法 （江苏物联网研究发展中心）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN104658907B公告日2019.03.22

(21)申请号201310590102.9

(22)申请日2013.11.20

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN104658907A

(43)申请公布日2015.05.27

(73)专利权人江苏物联网研究发展中心

地址214135江苏省无锡市新区菱湖大道

200号中国传感网国际创新园C座专利权人中国科学院微电子研究所

江苏中科君芯科技有限公司

(51)Int.CI.

HO1L21/331(2006.01)

HO1L21/60(2006.01)

(56)对比文件

CN102244091A,2011.11.16,CN103258847A,2013.08.21,JP2012160738A,2012.08.23,JP2012124190A,2012.06.28,

审查员周天微

(72)发明人张文亮朱阳军卢烁今田晓丽

滕渊

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限

公司11227代理人