CN104637813B Igbt的制作方法 （江苏物联网研究发展中心）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN104637813B公告日2019.10.01

(21)申请号201310574715.3

(22)申请日2013.11.13

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN104637813A

(43)申请公布日2015.05.20

(73)专利权人江苏物联网研究发展中心

地址214135江苏省无锡市无锡新区菱湖

大道200号中国传感网国际创新园C座专利权人中国科学院微电子研究所

江苏中科君芯科技有限公司

(72)发明人张文亮朱阳军卢烁今喻巧群

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227

(51)Int.CI.

HO1L21/335(2006.01)

(56)对比文件

CN103137474A,2013.06.05,

CN103137474A,2013.06.05,

CN102315096A,2012.01.11,

CN102800591A,2012.11.28,

CN203192800U,2013.09.11,

US2007120215A1,2007.05.31,CN102931081A,2013.0