1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 办公文档
  5. 说明文书

MEMS惯性传感器优势解析：THELMA制程和低成本封装方法.docx

MEMS惯性传感器优势解析：THELMA制程和低成本封装方法.docx

    第

    第PAGE1页共NUMPAGES1页

    MEMS惯性传感器优势解析：THELMA制程和低成本封装方法

    (a)(b)

    图1:这两张中的产品采纳意法半导体的惯性传感器技术，在消费电子产品中为客户提供全新的功能（来源:iSuppli市调公司）。

    意法半导体的MEMS惯性传感器基于意法半导体的微致动器和加速计的厚外延层制程(THELMA)，2[3]所示。THELMA是一个非集成化的MEMS创造程，比多晶硅表面微加工制程略复杂，但是拥有独特的优点，准许实现较厚的结构，这对

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >