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2026年过滤设备安装方案及清洗注意事项

一、项目背景与目标

2026年新建半导体封装厂对空气洁净度提出≤10pcs/m3@0.1μm的极限要求，同时要求全年停机时间＜8h。本方案针对三层厂房共布置FFU+高效送风+回风夹道+化学过滤的四级过滤体系，总风量1800000m3/h，过滤单元数量2860套，其中高效过滤器（HEPA/ULPA）1420套，化学过滤器520套，初中效920套。目标是在45天内完成全部安装并通过PAO+NaCl双检，同时在后续12个月运行期内将清洗导致的良品率波动控制在±0.02%以内。

二、安装前准备

1.场地封闭：所有开孔在设备搬入前用双层0.15mm防静电网格膜密封，膜边缘用5cm宽铝箔胶带搭接，搭接量≥3cm。

2.洁净通道：自卸货平台至安装点铺设2000m2的5mm厚防静电PVC卷材，每日用异丙醇拖洗两次，清洗后30min内用激光粒子计数器验证≤1000pcs/m3@0.5μm。

3.人员管理：建立“白-绿-黄-红”四级更衣，风淋室风速维持25m/s，喷嘴底部加设离子棒，确保表面静电电位＜50V。

4.工具管控：所有扳手、螺丝刀提前做无铬钝化，表面Ra≤0.4μm；电动工具加装H13级排风套筒，套筒出口加活性炭盒。

5.物料检验：高效过滤器逐台扫描，MPPS效率≥99.9995%，滤芯与边框接缝处用激光测隙