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流体与混杂模型在低气压射频感性耦合等离子体源应用研究.pdfVIP

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  • 2026-03-23 发布于北京
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流体与混杂模型在低气压射频感性耦合等离子体源应用研究.pdf

    第四届国内等离子体数值模拟培训会

    流体和混杂模型及其在低气压射频

    感性耦合等离子体源内的应用

    大连理工大学

    2018.08.20-威海

    报告提纲

    关于流体模型的一点思考

    新型能量守恒方程及其功能的介绍

    背景气体输运过程对放电的影响

    Ar/O等离子体空间分布形貌特征的分析

    2

    混杂模型的简单介绍

    碳氟等离子体源的若干放电机理

    结论和致谢

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