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MEMS技术迈向消费电子应用

硬盘读写头、微（Microdisplays）和微量喷墨头,目前占领着70%以上的市场。而、移动通讯、消费、以及医疗检测等领域,将是MEMS技术产业化应用的新热点。ST微电子MEMS事业单位前道技术和创造总监BenedettoVigna表示,ST的MEMS技术因具多轴响应、辨别率高、功耗低、单封装等特点,在运动、加速计以及倾斜传感器市场大受欢迎。

先进封装技术作保MEMS越发稳定

MEMS（MicroElectroMechanicalSystems）本质上是一种把微型机械元件（如传感器、制动器等）与电子集成在同一颗芯片上的技术。大多数芯片只利用了半导体的电气特性,而MEMS则利用了芯片的电气和机械两种特性。BenedettoVigna表示,微型化并不是MEMS的目标和主要优势。在无数应用中,MEMS技术的最重要优势是准许创造商利用半导体创造技术生产出高牢靠性的低成本传感器、制动器等器件。

芯片内部布线的牢靠性远远高于印刷电路板上的焊接布线,而半导体创造工艺和封装技术都为MEMS器件提供了平安庇护。本身内在的高牢靠性对于诸如汽车系统和家电产品中,电子系统必需在一个机械振动特殊大的环境中工作牢靠。同时,批量创造使得MEMS组件的成本通常远远低于高精度的浩大的机械组件,通常状况