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基于复合能量函数的变长度迭代学习控制：理论、方法与应用

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业生产和自动化技术不断发展的背景下，控制系统对于精确性和适应性的要求日益提高。迭代学习控制（IterativeLearningControl,ILC）作为一种智能控制策略，自提出以来便在众多领域得到了广泛的关注与应用。ILC主要针对具有重复运动特性的系统，通过不断利用先前迭代过程中的控制经验，对控制律进行修正和优化，使得系统在有限时间区间内能够高精度地跟踪期望轨迹。

在工业生产领域，如半导体制造过程中的光刻工艺，要求光刻机的工作台能够在高速运动的同时保持极高的定位精度，以确保芯片图案的精确