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基于Ⅳ族单晶薄膜的短波红外探测器的研究.pdf

基于Ⅳ族单晶薄膜的短波红外探测器的研究.pdf

    摘要

    摘要

    Ⅳ族半导体材料主要包括硅(Si)，锗(Ge)，碳化硅(SiC)，锡(Sn)等。Ⅳ族材料具有储

    量丰富、成本低廉、化学稳定、可靠性高、电学性能优异且易与Si基CMOS工艺兼容

    等优点。同为Ⅳ族材料的锗锡(GeSn)、锗硅(GeSi)合金能通过

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