基于SOI硅基的串联对称三环光微谐振滤波器：设计、实现与性能优化.docxVIP

基于SOI硅基的串联对称三环光微谐振滤波器：设计、实现与性能优化

一、引言

1.1研究背景与意义

随着信息技术的飞速发展，光通信作为现代通信领域的核心技术，在满足不断增长的数据传输需求方面发挥着至关重要的作用。在光通信系统中，光学滤波器是实现信号处理、复用解复用、波长选择等关键功能的核心器件，其性能直接影响着整个系统的通信质量和效率。硅基光微谐振滤波器作为一种新型的光学滤波器，凭借其体积小、功耗低、易于集成等显著优势，成为了光通信和光子集成电路领域的研究热点。

硅基材料与互补金属氧化物半导体（CMOS）工艺具有良好的兼容性，这使得硅基光微谐振滤波器能够利用成熟的半导体制造技术进行大规模生产，