CN111174694B 一种激光干涉位移测量装置及其使用方法 (山西大威激光科技有限公司).docxVIP

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  • 2026-03-27 发布于山西
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CN111174694B 一种激光干涉位移测量装置及其使用方法 (山西大威激光科技有限公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN111174694B

(45)授权公告日2025.07.11

(21)申请号202010113765.1

(22)申请日2020.02.24

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN111174694A

(43)申请公布日2020.05.19

(73)专利权人山西大威激光科技有限公司

地址030046山西省太原市综改示范区太

原阳曲园区锦绣大街小微企业园二期5-1号厂房一层

(72)发明人高洋刘锋

(74)专利代理机构南京司南专利代理事务所(普通合伙)32431

专利代理师邓细波

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