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CN111668088B 一种碳化硅衬底的处理方法 （全球能源互联网研究院有限公司）.docxVIP

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  • 2026-03-27 发布于山西
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CN111668088B 一种碳化硅衬底的处理方法 （全球能源互联网研究院有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN111668088B

    (45)授权公告日2025.07.11

    (21)申请号202010345960.7

    (22)申请日2020.04.27

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN111668088A

    (43)申请公布日2020.09.15

    (73)专利权人全球能源互联网研究院有限公司

    地址102209北京市昌平区未来科技城滨

    河大道18号

    专利权人国家电网有限公司

    国网山东省电力公司泰安供电公司

    (72)发明人吴昊吴军民金锐汤广福潘艳邱宇峰田亮孙俊敏李晨

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