CN115176329B 真空模块和真空设备以及用于容积吸气剂真空泵的再生的方法 （爱德华兹真空泵有限责任公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN115176329B

(45)授权公告日2025.06.06

(21)申请号202180019033.9

(22)申请日2021.02.23

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN115176329A

(43)申请公布日2022.10.11

(30)优先权数据

2003215.72020.03.05GB

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2022.09.05

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/IB2021/0515022021.02.23(87)PCT国际申请的公布数据

WO2021/